實驗室氣路安裝要求

1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對氣體純度要求不是太嚴格的地方。

2、氣路安裝管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。

3、易1燃氣體，如乙1炔需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設(shè)時，其間距不應(yīng)小于0.5M；交叉敷設(shè)時間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時氫氣管道應(yīng)位于上方。

4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨的閥門隔離，以方便對過濾裝置進行維修。

5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時才可以使用接頭配件。

6、每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。

7、引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。

8、每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。

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試驗室供氣現(xiàn)狀

目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統(tǒng)完成上述工作。同時，當(dāng)?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域，然后將氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi)。

但是考慮安全和效率因素，不考慮經(jīng)濟性因素，集中供氣系統(tǒng)是比較優(yōu)1秀的方式。并成為當(dāng)今試驗室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應(yīng)源，氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi)，并可通過安裝在工作臺上的使用點二級減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。

國內(nèi)比較老的試驗室在使用氣體的時候大多是將氣瓶放在用氣點的旁邊，然后在氣瓶出口處安裝一個減壓器，然后直接通過紫銅管或四氟軟管連接到儀器上，如果一個試驗室里有多個使用設(shè)備時，就會有很多氣瓶，同時有很多雜亂的管路，同時這些氣體不乏有毒氣體、強腐蝕氣體，以及氣瓶出口高壓等因素，使得這種方式在現(xiàn)實使用過程中是充滿危險性的。便會發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室內(nèi)使用可燃氣體處、敷設(shè)可燃氣體的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應(yīng)設(shè)置可燃氣體報警裝置。

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實驗室氣體管道設(shè)計要求

了解實驗室設(shè)計的都知道：實驗室的任何的設(shè)計都是有規(guī)格要求的，出了這個要求的范圍那么實驗室的設(shè)計就有漏洞，就不合格，就容易發(fā)生事故。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨立的房間，如果與試驗室在同一大樓內(nèi)，則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨立的房間，這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離，即使有害氣體有泄漏，也不會發(fā)生直接傷害。實驗室的氣體的排放是非常重要的，如果說實驗室氣體管道設(shè)計不合理，工作人員就容易出事，甚至嚴重的就會有生命危險。

高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高，對氣體中雜質(zhì)和露1點要求極為嚴格，需要達到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。實驗室氣路安裝要求1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。